ファンフィルターユニット・ULPAフィルター・HEPAフィルター

クリーンルームのホクト総研


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フィルター類

HEPAフィルター
HEPAフィルター

 クリーンブースに清浄空気を吹き出したりするために欠かせないのがフィルター類です。
 HEPAフィルターで考慮しなくてはならないのが、高い圧力損失です。換気扇等ではほとんど風は出ません。寿命はこの圧力損失で判断します。初期値の2倍になったら交換時期です。

フィルターの種類と特性

  • ULPAフィルター

    超高性能フィルタ−(Ultra Low Particulate Air)のことで、0.1μmの微粒子を99.9995%捕集します。特殊ガラス繊維でできており、2〜5年が寿命で交換となります。
  • HEPAフィルター

    高性能フィルター(Hight Efficiency Particulate Air)のことで、0.3μmの微粒子を99.97%捕集します。やはり2〜5年が寿命で再生出来ずに交換となります。
  • 中性能フィルター

    簡易クリーンルームやプレフィルターとして使い、比色法捕集効率で95%・90%・65%等があります。
    やはり再生できません。
  • プレフィルター

    外気取入口等に付け、10μm以上のゴミを除去し、HEPAフィルターの負担を軽減します。一般空調のフィルターと同じように、掃除機でゴミを取ったり水洗いできます。

FFU・FU

 クリーン化に欠かせない機器が、HEPAフィルターを組み込んだFFU(ファン フィルター ユニット)とFU(フィルター ユニット)です。
 天井組み込み型、天井吊り込み型、パッケージエアコン上乗型等使用状況に合わせていろいろなタイプを組み合わせることが出来ます。

天吊型ファンフィルターユニット小型ファンフィルターユニット
天吊型FFU小型FFU
床置型ファンフィルターユニットパッケージエアコン上乗型フィルターユニット
床置型FFUパッケージエアコン上乗型FU