クリーンブース関連商品
フィルター類
クリーンルームやクリーンブースなど高い清浄度を必要とする環境では、空気中に浮遊する目に見えないレベルの小さな塵埃を捕集するための高性能フィルターが必要となります。
代表的なものとしてHEPA（High Efficiency Particulate Air）フィルターがございます。0.3μmの粒子を99.97％以上捕集する性能を有し、クリーン環境においてはFU（フィルターユニット）やFFU（ファンフィルターユニット）に組み込んで使用することが一般的です。
フィルターは捕集効率や特性によって様々な種類があるため、お客様の必要とする清浄度のレベルや用途に応じて最適なものをお選び頂けます。
HEPAフィルター
フィルターの種類と特性
- ULPAフィルター
特殊なガラス繊維のろ材を使用した超高性能フィルタ－（Ultra Low Particulate Air）で、0.1μmの微粒子を99.9995％捕集します。消耗品のため、環境によって異なりますが概ね2～5年程度で交換となります。 - HEPAフィルター
クリーン環境において用いられることの多い高性能フィルター（Hight Efficiency Particulate Air）で、0.3μmの微粒子を99.97％捕集します。交換サイクルは概ね3～5年となります。 - 中性能フィルター
簡易クリーンルーム向けやプレフィルターの代用としても使用します。比色法捕集効率で95％・90%・65%等のバリエーションがございます。 こちらも消耗品のため、定期的な交換が必要となります。 - プレフィルター
外気取入口等に付け、10μm以上のゴミを除去し、HEPAフィルターの負担を軽減します。一般空調のフィルターと同じように、掃除機でゴミを取ったり水洗いできます。
FFU・FU
クリーン化に欠かせない機器が、HEPAフィルターを組み込んだFFU（ファン フィルター ユニット）とFU（フィルター ユニット）です。
天井組み込み型、天井吊り込み型、パッケージエアコン上乗型等使用状況に合わせていろいろなタイプを組み合わせることが出来ます。
天吊型FFU
小型FFU
セーフティパーテーション
床置型FFU